Влияние параметров ионного облучения на образование дефектов в пленках кремния
Шемухин,А. А. et al.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.(2014),2014(3):56
http://dx.doi.org/10.7868/S0207352814030214

Please select from the following available links for this article:
http://www.maikonline.com/maik/showArticle.do?auid=VAHS4HBJMK&lang=ru
http://elibrary.ru/item.asp?doi=10.7868/S0207352814030214